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圧力センサ / 漏液センサ に関する FAQ

  • Chapter 1
  • 製品関係のよくある質問 (1)  

Q1. ケーブルの仕様について (ケーブル芯線径等)

ケーブルにコネクタを取り付けたいのですが、ケーブルの仕様を教えてください。
当社各種圧力センサのケーブル仕様は、ケーブル芯線径一覧表(PDF)をご参照ください。
コンタクトピンを圧着する際の注意事項
  • 1. 芯線とコンタクトピンのサイズはメーカが推奨するものを選定してください。
  • 2. 芯線はメーカの指定した長さで剥いてください。
  • 3. 圧着工具はメーカが推奨する工具をご使用ください。

Q2. 適用媒体における非腐食性気体の範囲

P-2000, P-3000Sの適用媒体は非腐食性気体とありますが、水蒸気を含んだ空気は使用可能ですか?使用不可の場合、推奨される機種を教えてください。
P-3000Sの構造は、センサチップが直接媒体に触れるため水分の影響で特性が変化してしまいます。一方、二重ダイヤフラム型トランスジューサPA-800は、ステンレスダイヤフラムで圧力を受け、封入されたシリコンオイルが圧力を伝達する構造になっていますので、水蒸気や液体の圧力を測ることができます。水蒸気を含んだ空気で使用可能な機種としては、圧力トランスジューサモジュール(アンプ無)ではP-8300, P-8505などがあります。圧力トランスジューサ(アンプ付)ではPA-750/758, PA-830/838などが、圧力スイッチではPS83, PS85などがあり、圧力ゲージではPG-35, PG-75などがあります。詳しくは、製品情報ページに掲載の各製品情報や圧力センサプロダクトガイド(PDF)に記載の適用媒体をご参照ください。
  • P-3000Sの内部構造図
    P-3000Sの内部構造図
  • PA-800の内部構造図
    PA-800の内部構造図

Q3. ノイズへの対処 (シールドの処理)

アンプ内蔵の圧力センサを使用していますが、ノイズの影響とみられる出力変動があります。装置取付側は絶縁されており、受信側のシールド線はどこにも接続していない状態で使用していますが、何か良い対策はありますか?
FGが装置側・受信側ともに絶縁された状態ですので、ノイズがケーブルに伝搬し出力変動を起こしたと考えられます。受信側のシールド線を接地することでノイズの影響が受けにくくなります。
  • (a) センサが接地されている場合
    センサが接地されている場合
  • (b) センサが絶縁されている場合
    センサが接地されている場合

Q4. 圧力スイッチのスイッチ設定方法 (例: PS91シリーズ)

圧力スイッチPS91のKF25フランジ継手を使用して真空加熱炉の大気圧時を検出しようとしています。N1とN2の選定方法が解らないのですが、真空状態から大気圧に戻った時にONするように、大気圧から真空へは-80kPaでONする設定にしたいのですが、スイッチ出力の選定と設定方法を教えてください。
PS91のスイッチ出力動作はN1/P1タイプがSW1,SW2ともに圧力が上昇した時にONとなります。N2/P2タイプはSW1が圧力が下降した時にONとなり、SW2は圧力が上昇した時にONとなります。真空側から大気圧に戻った時にSWがONになり大気圧から-80kPaになった時にONするにはN2/P2タイプを選定します。

PS91 N2/P2タイプのスイッチ出力動作

次にスイッチの設定方法を説明します。準備するものとしてPS91-102V-N2-K2, デジタルマノメータ, 圧力調整用バルブ, 真空ポンプ, 定電圧電源, トリマ調整用精密ドライバを用意してください。PS91の配線ですが、赤のリード線が電源+になり、黒がcommonになりますので、間違わないように電源に接続してください。電源は装置と同じ電圧を設定してください。次に配管ですが、PS91と真空ポンプの間にデジタルマノメータと圧力調整用バルブを下図のように接続します。まず、大気圧になった時にSWがONするように設定をします。真空ポンプをOFFにしてPS91に加わる圧力を大気圧の状態にしてください。PS91のSW2は圧力が上昇するとONになる動作モードですので、裏面の設定用トリマ2を右に回し、動作表示灯LEDが点灯したところが大気圧でSW2がONなるポイントになります。次に圧力調整用バルブを開いた状態で真空ポンプをONにしデジタルマノメータで真空になったことを確認し、真空ポンプをOFFにして大気開放してください。デジタルマノメータが0になった時にPS91の動作表示灯LEDが点灯することを確認してください。続いて、大気圧から-80kPaになった時にSWがONになるように設定します。まず、圧力調整用バルブを閉じた状態で真空ポンプをONにします。バルブを徐々に開いて-80kPaに調整します。PS91のSW1は圧力が下がった時にONなる動作モードになりますので、裏面のSW1を右に回し動作表示灯LEDが点灯したところが-80kPaでONになるポイントになります。次に真空ポンプをOFfにして大気圧に戻します。大気圧に戻ったことを確認したら、バルブを閉じて真空ポンプをONにしてください。圧力調整用バルブを徐々に開きデジタルマノメータが-80kPaになった時に動作表示LEDが点灯することを確認してください。圧力設定のコツは設定用トリマと圧力調整バルブをゆっくり調整することです。

Q5. 基板実装タイプの推奨はんだ条件

P-2000をプリント基板にはんだ付けしたいのですが、推奨するはんだ付け条件はありますか?
当社各種センサの推奨はんだ付けは、はんだ付け推奨条件(PDF)をご参照ください。
はんだ付けの注意事項
  • 1. 基板実装タイプである P-2000 や P-3000S, PA-100を実装する場合は、フローやリフローはせず、手はんだ付けしてください。
  • 2. フラックス洗浄する場合、洗浄液に浸漬せず、洗浄液をしみ込ませた布で拭きとる程度としてください。
  • 3. フラックスや洗浄液、防湿材がセンサ内部や大気開放口に侵入しないよう、ご注意ください。
  • 4. 圧力ポートや端子に機械的な力が加わらないよう、機械的に位置決めされた後に、端子をプリント基板にはんだ付けしてください。

Q6. チューブ~M5メネジ接続用の推奨継手

圧力センサのM5メネジを使用してチューブに繋ぎたいのですが、推奨アタッチメントはありますか?
圧力センサとウレタン/ナイロンチューブとの接続には、下表に示します継手を推奨いたします。
メーカ名 (敬称略)継手タイプ (メーカ呼称)チューブ外径 (mm)
φ4 (4×2.5)φ6 (6×4)
株式会社 コガネイ クイック継手 TS-4-M5 TS-6-M5
クイック継手 TS-4-M5M TS-6-M5M
TAC継手 BF4 BF6
株式会社 日本ピスコ チューブフィッティング PC4-M5 PC6-M5
チューブフィッティング PC4-M5M PC6-M5M
ミニマル継手 LC-0425-M5 LC-0640-M5
※継手の寸法仕様詳細等については、上記メーカにお問合わせください。

Q7. クイック継手接続用の推奨チューブ

クイック継手に接続する推奨のチューブを教えてください。
ウレタン/ナイロンチューブは、下表に示しますチューブを推奨いたします。
メーカ名 (敬称略)チューブタイプ (メーカ呼称)チューブ外径 (mm)
φ4 (4×2.5)φ6 (6×4)
株式会社 コガネイ ナイロンチューブ N4B N6B
ウレタンチューブ U4 U6
株式会社 日本ピスコ ナイロンチューブ NA0425 NA0640
ウレタンチューブ UB0425 UB0640
※最高使用圧力等チューブ仕様詳細は、上記メーカにお問合わせください。

Q8. テーパネジの推奨締め付けトルク

テーパネジタイプの推奨締め付けトルクを教えてください。
締め付けトルクは下記Fig.をご参照ください。継手がテーパネジの場合、ネジ部にシールテープを巻いて適合する配管にねじ込んでください。その際、シールテープはネジ先端から2山程度の隙間を空けて巻き始めてください。ネジ先端から巻き始めると裂けたシールテープが配管内に混ざることがあります。巻きつけたシールテープを押さえてネジに馴染ませた後、配管にねじ込んでください。

下表をご参照のうえ、継手のサイズや材質を考慮しつつ、締め付け時のトルクの目安にしてください。

(Fig.)
ネジ形状締め付けトルク (N·m)
R 1/8 7 ~ 9
R 1/4 12 ~ 14
R 3/8 22 ~ 24
M 5 1.0 ~ 1.5

Q9. ポート向きによる出力の影響

二重ダイヤフラムの圧力センサを使用しています。ポートを下向きにした場合と横向きにした場合とで出力に変化が生じますが、故障でしょうか?
二重ダイヤフラム構造の当社圧力トランスジューサには、シリコンオイルが封入されており、シリコンオイルの自重をセンサ素子が検出して出力が変わります。取付方向の姿勢が一定であれば、出力は一定になります。なお、機種や圧力レンジにより姿勢の影響が違いますので、詳しくは、製品情報ページに掲載しております各製品の仕様情報よりご確認ください。
e.g. P-8300 の内部構造図
 
  • P-8300 内部構造図
  • 名称材料
    ①封入液 シリコンオイル
    ②センサチップ シリコン単結晶
    ③ダイアフラム SUS316L
    ④補償抵抗基板 セラミック
    ⑤大気圧開放ポート
    (ゲージ圧タイプのみ)
    鉄 + 金メッキ
    ⑥ポート SUS316L
    ⑦リードピン 銅 + 金メッキ

Q10. 電源投入後の安定性 (ウォームアップの薦め)

Common Notesに、電源投入後10分程のウォームアップをとることでより高精度の測定ができるとありますが、電源を投入してから10分の間、出力電圧[V]はどの程度変化するのでしょうか?出力電圧の変動が直線的な変化かどうかも教えてください。
電源投入後、下記Fig.のように、ZERO点がシフトし10分程度で安定します。従いまして、10分程度ウォームアップすることで出力が安定し、高精度に測定することができます。
Fig.) 電源投入後のZERO点安定性 (当社製品比)
※参考グラフ (製品によりシフトする方向や変化量は変わります。)

Q11. 高真空領域に適した製品 (圧力下限値に留意)

真空チャンバーにおいて、内圧監視用にPA-850-102A-NR2を採用しています。プロセス上、絶対圧力で0kPa近辺まで減圧させますが、しかしながら、カタログでは真空使用下限値が1.3kPa abs.とあります。なぜ使用できないのでしょうか?また、使用可能な圧力センサがあれば、紹介してください。
当社の二重ダイヤフラム型圧力トランスジューサは、長期間高真空で使用された場合、シリコンオイル中に残っていた空気の影響で出力がずれることがありますので、真空使用下限値を1.3kPa abs.としております。
一方、当社では、高真空対応製品としてシリコンオイルを使用しない薄膜型素子を使用した圧力トランスジューサも取り揃えております。下表をご参照ください。
  • A. 二重ダイヤフラム(オイル封入)タイプ
    シリーズ名圧力下限値
    P-8300, P-8305, P-8505, PA-750, PA-758, PA-800, PA-830, PA-838, PA-838-D, PA-840, PA-848, PA-850, PA-858, PS8,  PS83, PS85, PG-35,PG-75, PG-208, PG-100B 1.3 kPa abs.
  • B. 薄膜タイプ (高真空対応)
    シリーズ名圧力下限値
    PA-920S, PA-928S, PA-930, PA-930-A, PS91, PG-20, PG-35L 1.4 × 10-4 kPa abs.

Q12. 媒体の使用温度範囲について

圧力ゲージPG-35で使用できる温度範囲を教えてもらえますか。現状は常温の水を使用していますが、今後は加熱した水を使用したいので、液体温度の範囲を知りたいです。
PG-35で使用できる液体温度範囲は動作温度範囲と同じで-10~50℃となります。動作温度範囲は機種により違いますので、詳細は製品情報ページや圧力センサプロダクトガイド(PDF)をご参照ください。
温度範囲を広げたい場合は、条件付きで検討も可能ですので、お取引の若しくは最寄りの営業所・販売特約店・代理店にお問合わせください。

Q13. 総合精度について (常温/常温以外での差異)

ハンディ·マノメータPG-100Bの総合精度に±0.5%F.S.±2digitsと±1.0%F.S.±2digitsの2つあるのはなぜでしょうか?また、±2digitsの意味を教えてください。
±0.5%F.S.±2digits(25℃±5℃)は、周囲温度25℃一定の時の定格圧力範囲内の精度になります。
±1.0%F.S.±2digits(25℃±25℃)は、温度が0~50℃に変化した時の定格圧力範囲内の精度になります。±2digitsは、表示の最小桁が±2digits分の誤差が含まれる、という意味になります。

Q14. 定格圧力/最大圧力/破壊圧力の定義

カタログに記載されている「定格圧力範囲」と「最大圧力」の意味をそれぞれ教えてください。また「破壊圧力」の値を超えた場合は、センサーが破損するのでしょうか?
定格圧力範囲とは、圧力センサの仕様を保証する圧力値です。最大圧力とは、圧力センサに印加できる最大の圧力値です。定格圧力を超えて最大圧力を印加した場合も、定格圧力内での仕様は保証します。ただし、オフセット電圧/ゼロ電圧/ゼロ電流は変化する可能性があります。破壊圧力とは、圧力センサが電気的または機械的に破壊する圧力値です。この場合、測定中の圧力媒体が外部へ漏れ出す可能性が高く、注意が必要です。

Q15. PG-100用リチウム電池の購入方法

ハンディ·マノメータPG-100の交換用電池は、リチウム電池DC3.6Vと明記されていますが、最初に付属していたのは東芝のER6VM/3.6という型番でした。東芝のホームページには該当品が掲載されておらず、ER6V P3.6が載っています。こちらも使用可能でしょうか?
PG-100用のリチウム電池は、東芝ライフスタイル社製の「ER6VM/3.6」のみとなります。こちらは市販されておりませんので、お近くの若しくはお取引のある営業所・販売代理店に型式「リチウムデンチ(PGヨウ)」とお申し出のうえお買い求めください。なお、リチウム電池は、分解, ショート, 充電, 火への投入, 加熱などはなされませんよう、念のため申し添えます。使用済みのリチウム電池は、お客様所在の地域の指定に従って、正しく廃棄くださいますようお願い致します。長時間使用されない時は、本体から外し、乾燥した低温の場所に保管してください。

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