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2017/12/26
新产品: 压力传感器 "PA-920S/928S系列" 公告
尊敬的经销商客户:
平素承蒙关照，深表谢意。
这次，我们公司从12月开始销售，半导体加工设备的供气系统用压力传感器「PA-920S/928S系列」。
本产品可用于半导体加工设备的供气系统，气箱等，高精度测量压力的压力传感器。
独特的外壳设计和电路设计实现小巧轻便。
压敏元件使用SUS316L双熔体材料形成薄膜型半导体元件。
主要目标市场:适用于CVD设备，蚀刻设备等气体供给系统。
特征
(1) 小型，集成型/内联型（inline type ）的理想选择
(2) 产品形状为I型/ T型，输出为2种，接头为6种
(3) 因连接器接续，便于安装和布线
(4) 是传感器元件和接头焊接一体型
主要规格
| 额定压力范围 | 0~0.5 MPa, -0.1~0.5 MPa, 0~1 MPa, -0.1~1 MPa |
| 工作温度 |
-20~70 °C |
| 保存温度 | -20~80 °C |
| 补偿温度 | 0~50 °C |
| 驱动电压 |
PA-920S: 12～24VDC±10% (电压输出) PA-928S: 24VDC±10% (电流输出) |
| 模拟输出 | 1~5 V DC (PA-920S), 4~20 mA (PA-928S) |
| 精确度 | ±1 % F.S. |
| 温度特性 | ±0.01 % F.S./°C |
| 压力端口 | 1.125英寸 C密封/W密封, 直管接头VC公/母（9/16-18UNF),T型接头VC（9/16-18UNF),直管接头UJR |
| 质量／外形尺寸 | 约 90 g~130 g, φ 20 × 66~92.2 mm (不包括电缆) |
| 电缆 | 另卖品 |
