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2017/12/26
신제품: 압력센서 「PA-920S/928S시리즈」발매공지
평소 각별한 관심과 성원에 진심으로 감사를 드립니다.
12월부터 당사는 신제품으로 반도체 가스공급 시스템용 압력센서 "PA-920S/928S 시리즈」의
판매를 시작합니다.
본 제품은 반도체 제조장치 가스공급계의 인라인 및 가스상자 등에 사용할수 고정밀 압력측정이 가능한 압력 센서로 개발되었습니다.
독창적인 케이스 설계 및 회로 설계로 소형 · 경량을 실현. 감압 소자는 SUS316L 더블 멜트 재료를 사용하여 박막형 반도체 소자를 형성하고 있습니다.
주요 표적 시장으로 CVD (화학기상증착)장비, 에칭(식각) 장치 등의 가스공급장치에 적합합니다.
특징
• 소형 집적형/인라인형에 적합
• 제품 모양은 I 형/T 형 출력은 2 종류, 피팅은 6 종류
• 커넥터 화로 설치 · 배선이 용이
• 센서 소자 및 피팅 용접에 의한 일체형 구조
제품 주요 사양
| 정격압력범위 | 0~0.5 MPa, -0.1~0.5 MPa, 0~1 MPa, -0.1~1 MPa |
| 동작 온도 | -20~70 °C |
| 보존 온도 | -20~80 °C |
| 보상 온도 | 0~50 °C |
| 구동 전압 |
PA-920S: 12～24VDC±10% (전압 출력) PA-928S: 24VDC±10% (전류 출력) |
| 출력 | 1~5 V DC (PA-920S), 4~20 mA (PA-928S) |
| 출력정확도 | ±1 % F.S. |
| 온도특성 | ±0.01 % F.S./°C |
| 피팅 형상 | 1.125 in. W- 씰, 1.125 in.C- 씰, 스트레이트 피팅 VC 수/암 (9/16-18UNF), T형 피팅 VC (9/16-18UNF), 스트레이트 피팅 UJR |
| 중량 /외형크기 | Approx. 90 g~130 g, φ 20 × 66~92.2 mm (케이블은 포함하지 않음) |
| 케이블 | 별매 품 |
