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2017/12/26
半導体ガス供給系用圧力センサ「PA-920S/928Sシリーズ」
発売のお知らせ
平素は格別のお引き⽴てを賜り、誠にありがとうございます。

この度、当社は新製品として半導体ガス供給系用圧力センサ「PA-920S/928Sシリーズ」を2017年12月より販売開始することになりました。

 

本製品は、半導体製造装置ガス供給系のインラインやガスボックス等に使用できる高精度な圧力計測を可能とした圧力センサとして開発しました。
独自の筐体設計と回路設計により小型・軽量を実現しており、感圧素子にSUS316Lダブルメルト材を使用し、薄膜型半導体素子を形成しております。

主なターゲット市場として、CVD装置、エッチング装置などのガス供給系に適しております。

目標販売数は、初年度 月350台、
3年後 月1,000台を見込んでおります。

サンプル価格は、@61,500~91,100円。

特長

• 小型で集積型ガスシステム/インライン側に最適

• 製品形状はI型/T型、出力は2種類、継手は6種類

• コネクタ化により取付・配線が容易

• センサ素子と継手は溶接による一体構造

 

主な仕様

定格圧力 0~0.5 MPa, -0.1~0.5 MPa, 0~1 MPa, -0.1~1 MPa
動作温度 -20~70 °C
保存温度 -20~80 °C
補償温度 0~50 °C
駆動電圧
PA-920S: 12~24VDC±10% (電圧出力)
PA-928S: 24VDC±10% (電流出力)
アナログ出力 1~5 V DC (PA-920S), 4~20 mA (PA-928S)
出力精度 ±1 % F.S.
温度特性 ±0.01 % F.S./°C
継手
Wシール(1.125"), Cシール(1.125"), ストレート型UJR,
ストレート型VCオス/メス(9/16-18UNF), T型VC(9/16-18UNF)
質量/外形寸法 約 90 g~130 g,  φ 20 × 66~ 92.2 mm (ケーブルは含まない)
コネクタケーブル 別売品

※ 本製品の詳細はこちらをクリックしてください。

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