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新聞中心

2020/01/10

新產品: 薄膜壓力開關 "PAS91系列" 公告

Thin-film pressure switch "PAS91"
尊敬的經銷商客戶: 平素承蒙關照,深表謝意

這次,我們公司從1月開始銷售,可用於半導體製造設備的薄膜壓力開關「PAS91系列」。

該系列可以提供廣泛的壓力範圍,輸出形式(模擬輸出和繼電器輸出,晶體管集電極開路輸出),並且用途廣泛。

適用工藝反應腔室內的安全機制互鎖中,為主要的目標市場。

特徵

設計用於安全互鎖的絕對壓力開關
模擬輸出(1-5V,0-5V,0-10V)和開關輸出(繼電器繼電器輸出或集電極開路輸出)
內部採用SUS316L膜片隔膜
電解拋光 (選件)
符合UL991的產品(可提供第三方測試報告)

主要規格

壓力範圍 14.5 psi abs (750 Torr · mmHg abs)
50.8 psi abs (2625 Torr · mmHg abs)
72.5 psi abs (3750 Torr · mmHg abs)
101.5 psi abs (5250 Torr · mmHg abs)
接液部件材料 SUS316L
連接埠 墊圈接頭(9/16-18UNF)
電源電壓 24 VDC ±10%

※產品詳細信息請點擊這裡。

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