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2020/01/10

신제품: 박막형 압력스위치 "PAS91 시리즈" 발매공지

Thin-film pressure switch "PAS91"
평소 각별한 관심과 성원에 진심으로 감사를 드립니다.

당사 일본전산코팔전자는 신제품으로 반도체 제조 장비에 사용할 수있는 박막 압력 스위치 "PAS91 시리즈"의 판매를 시작했습다.

광범위한 압력 범위, 출력 (아날로그 출력 및 릴레이 출력, 트랜지스터 오픈 컬렉터 출력)을 제공하며,또한 광범위한 응용 분야에서 사용할 수 있습니다.

주요 목표 시장으로 반도체 프로세스 챔버의 안전 인터록에 적합합니다.

특징

안전 인터록을 위해 설계된 절대 압력 스위치
아날로그 출력 (1-5V, 0-5V, 0-10V) + 스위치 출력 (릴레이 또는 오픈 컬렉터)
SUS316L 다이어프램
전해 연마 마감 (옵션)
UL991 적합제품 (제삼자 시험 보고서 제출 가능)

제품 주요 사양

정격 압력 범위 14.5 psi abs (750 Torr · mmHg abs)
50.8 psi abs (2625 Torr · mmHg abs)
72.5 psi abs (3750 Torr · mmHg abs)
101.5 psi abs (5250 Torr · mmHg abs)
유체 표면 재질 SUS316L
압력 포트 체결 조인트 (9/16-18UNF)
정격 전압 24 VDC ±10%

※본 제품의 자세한 내용은 여기를 클릭하십시오.

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