高真空対応圧力ゲージ PG-20｜ニデックコンポーネンツ株式会社

高真空対応圧力ゲージ PG-20

PG-20

PG-20

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半導体ガス供給系集積化システム（1.125/1.5 インチ）に対応

φ 20mm外径で1.125in/1.5inベースブロックへの着脱が容易
配管の方向に合わせて表示部の回転が可能
スイッチ出力、電圧出力、電流出力の選択が可能
センサ素子と継手は溶接による一体構造

標準仕様

型式 (定格圧力表示部)	502	103
指示方式	ゲージ圧 (連成圧)^✽1
定格圧力範囲	-0.1 ~ 0.5 MPa	-0.1 ~ 1.0 MPa
最大圧力	0.75 MPa	1.5 MPa
真空使用圧力	1.4×10-4 Pa (abs) 以上
気密性 (Heリーク量)	5×10-12 Pa・m3/sec. 以下 (圧力ポート溶接部)
動作温度	-10 ~ 50 °C (結露なきこと)
補償温度	0 ~ 50 °C
動作湿度	35 ~ 85 % RH（結露なきこと）
保存湿度	-20 ~ 60 °C (大気圧, 湿度 65 % RH 以下)
適用媒体	SUS316L ダブルメルト材を腐食させない気体および液体
絶縁抵抗 (125 VDC 印加後)	50 MΩ 以上 (リード線部一括と圧力ポート間 at 125 VDC)
接ガス部面材質	SUS316L ダブルメルト材 (継手 / センサ部)
接ガス部面粗度	Ra: 0.15, Rz: 0.7 μm 以下^✽2
パーティクル (媒体流路内)	0.1 μm 以上の粒子: ノーカウント(当社検査基準による)
コネクタケーブル	ケーブル長: 2m AWG26 / ケーブル固定ホルダー付
保護構造	IP40
質量 (本体)	約 200 g (継手W1仕様), 約 110 g (継手W2仕様)
駆動電圧	電圧出力仕様ほか: 12 ~ 24 VDC ±10 % (リップル含む) 電流出力仕様: 24 VDC ±10 % (リップル含む)
消費電力	30 mA 以下 (2点スイッチON (無負荷) / アナログ出力含まず)
規格	UL認定品 (E222253) CEマーキング (EMI: Class B, EMS: Annex BB/EN61326-1, EN61326-2-3)

✽1) ゲージ圧正圧タイプをお買い求め希望の場合は、個別にお問い合わせください。

✽2) 接ガス面はEP(電解研磨)処理を施しております。

圧力表示

型式 (定格圧力表示部)	502	103
圧力表示素子	3･1/2 桁, 7セグメント LED 赤色 (文字高さ: 5mm)
表示部回転角	270° (90° ステップ)
定格圧力範囲 (連成圧)	−.100 ~ .500 MPa	−.100 ~ 1.000 MPa
表示回数	4回 / 秒
表示精度	±1.0 ％ F.S. (繰返し精度と Lin/Hys.を含む)
温度特性	±0.1 ％ F.S./°C (0 ~ 50 °C, 基準温度 25 °C)
分解能	1 digit
定格圧力外表示	定格圧力の約 110 ％を超えた時点で圧力表示を点滅
付加機能	ゼロ点調整機能, パネルロック機能

アナログ出力

電圧出力	1~5 VDC (出力電流 1 mA 以下 / 出力抵抗 1.5 kΩ)
	出力精度	±1.0 ％ F.S. (調整誤差, Lin./ Hys.含む)
	温度特性	± 0.1％ F.S./°C (0~50 °C 基準温度 25 °C)
電流出力	4~20 mA (駆動電圧 24 VDC ±10 ％ / 負荷抵抗 500 Ω 以下)
	出力精度	± 1.0 ％ F.S. (調整誤差、Lin./ Hys.含む)
	温度特性	± 0.1 ％ F.S./°C (0~50 °C 基準温度 25 °C)

スイッチ出力

出力点数	1点または 2点
出力方式	NPN / PNP トランジスタオープンコレクタ
スイッチ容量	30 VDC, 100 mA 以下
残留電圧	NPN: 1.2 V 以下 / PNP: 2.2 V 以下 (負荷電流 100 mA 時)
出力動作	セパレートモード / ウインドコンパレータモード
繰返し精度	±0.3 ％ F.S. 以下
温度特性	±0.1 ％ F.S./°C (0~50 °C, 基準温度 25 °C)
応答性	約 2.5, 25, 250 ms. (デジタルフィルタによる可変方式)
応差 (ヒステリシス)	0~300 counts (パネル操作による可変方式)

型式表示

PG- 20-	103	R-	N2	W2
シリーズ名	定格圧力レンジ 502R: -0.1~0.5 MPa 103R: -0.1~1.0 MPa	指示方法 R: ゲージ圧 (連成圧)	出力仕様　 B: スイッチ出力なし N2: スイッチ出力2点 (NPN オープンコレクタ) P2: スイッチ出力2点 (PNP オープンコレクタ) NV: スイッチ出力1点 (NPN オープンコレクタ) +電圧出力(1~5V) PV:スイッチ出力1点 (PNP オープンコレクタ) +電圧出力(1~5V) NA:スイッチ出力1点 (NPN オープンコレクタ) +電流出力(4~20mA) PA:スイッチ出力1点 (PNP オープンコレクタ) +電流出力(4~20mA)	継手ブロック仕様 W1: 1.5 インチ W シール W2: 1.125 インチ W シール

PG- 20-

103

R-

シリーズ名

定格圧力レンジ

502R: -0.1~0.5 MPa

103R: -0.1~1.0 MPa

指示方法

R: ゲージ圧 (連成圧)

出力仕様　

B: スイッチ出力なし

N2: スイッチ出力2点

(NPN オープンコレクタ)

P2: スイッチ出力2点

(PNP オープンコレクタ)

NV: スイッチ出力1点

(NPN オープンコレクタ)

+電圧出力(1~5V)

PV:スイッチ出力1点

(PNP オープンコレクタ)

+電圧出力(1~5V)

NA:スイッチ出力1点

(NPN オープンコレクタ)

+電流出力(4~20mA)

PA:スイッチ出力1点

(PNP オープンコレクタ)

+電流出力(4~20mA)

継手ブロック仕様

W1: 1.5 インチ W シール

W2: 1.125 インチ W シール　

型式一覧表

型式	継手	スイッチ出力	指示方法/アナログ出力範囲	アナログ出力	CAD
PG-20-502R-BW1	1.5 inches W-Seal	なし	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	なし	3D CAD（Any Model）
PG-20-502R-BW2	1.125 inches W-Seal	なし	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	なし	3D CAD（Any Model）
PG-20-502R-N2W1	1.5 inches W-Seal	2 点 NPN	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	なし	3D CAD（Any Model）
PG-20-502R-N2W2	1.125 inches W-Seal	2 点 NPN	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	なし	3D CAD（Any Model）
PG-20-502R-P2W1	1.5 inches W-Seal	2 点PNP	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	なし	3D CAD（Any Model）
PG-20-502R-P2W2	1.125 inches W-Seal	2 点PNP	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	なし	3D CAD（Any Model）
PG-20-502R-NVW1	1.5 inches W-Seal	1 点NPN	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-502R-NVW2	1.125 inches W-Seal	1 点NPN	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-502G-NVW1	1.5 inches W-Seal	1 点NPN	正圧/0MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-502G-NVW2	1.125 inches W-Seal	1 点NPN	正圧/0MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-502R-PVW1	1.5 inches W-Seal	1 点PNP	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-502R-PVW2	1.125 inches W-Seal	1 点PNP	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-502G-PVW1	1.5 inches W-Seal	1 点PNP	正圧/0MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-502G-PVW2	1.125 inches W-Seal	1 点PNP	正圧/0MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-502R-NAW1	1.5 inches W-Seal	1 点NPN	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-502R-NAW2	1.125 inches W-Seal	1 点NPN	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-502G-NAW1	1.5 inches W-Seal	1 点NPN	正圧/0MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-502G-NAW2	1.125 inches W-Seal	1 点NPN	正圧/0MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-502R-PAW1	1.5 inches W-Seal	1 点PNP	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-502R-PAW2	1.125 inches W-Seal	1 点PNP	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-502G-PAW1	1.5 inches W-Seal	1 点PNP	正圧/0MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-502G-PAW2	1.125 inches W-Seal	1 点PNP	正圧/0MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103R-BW1	1.5 inches W-Seal	なし	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	なし	3D CAD（Any Model）
PG-20-103R-BW2	1.125 inches W-Seal	なし	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	なし	3D CAD（Any Model）
PG-20-103R-N2W1	1.5 inches W-Seal	2 点 NPN	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	なし	3D CAD（Any Model）
PG-20-103R-N2W2	1.125 inches W-Seal	2 点 NPN	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	なし	3D CAD（Any Model）
PG-20-103R-P2W1	1.5 inches W-Seal	2 点PNP	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	なし	3D CAD（Any Model）
PG-20-103R-P2W2	1.125 inches W-Seal	2 点PNP	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	なし	3D CAD（Any Model）
PG-20-103R-NVW1	1.5 inches W-Seal	1 点NPN	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103R-NVW2	1.125 inches W-Seal	1 点NPN	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103G-NVW1	1.5 inches W-Seal	1 点NPN	正圧/0MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103G-NVW2	1.125 inches W-Seal	1 点NPN	正圧/0MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103R-PVW1	1.5 inches W-Seal	1 点PNP	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103R-PVW2	1.125 inches W-Seal	1 点PNP	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103G-PVW1	1.5 inches W-Seal	1 点PNP	正圧/0MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103G-PVW2	1.125 inches W-Seal	1 点PNP	正圧/0MPa~定格圧力	電圧出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103R-NAW1	1.5 inches W-Seal	1 点NPN	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103R-NAW2	1.125 inches W-Seal	1 点NPN	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103G-NAW1	1.5 inches W-Seal	1 点NPN	正圧/0MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103G-NAW2	1.125 inches W-Seal	1 点NPN	正圧/0MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103R-PAW1	1.5 inches W-Seal	1 点PNP	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103R-PAW2	1.125 inches W-Seal	1 点PNP	連成圧/- 0.1MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103G-PAW1	1.5 inches W-Seal	1 点PNP	正圧/0MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）
PG-20-103G-PAW2	1.125 inches W-Seal	1 点PNP	正圧/0MPa~定格圧力	電流出力	3D CAD（Any Model）

内部電気回路

スイッチ出力モード

注1. セパレートモードでは、設定1とSW1、設定2とSW2がそれぞれ対応し動作します。
注2. ウインドコンパレータモードでは、SW1とSW2に共通の下限値(設定1)、上限値(設定2)で動作します。(応差HはSW1／SW2動作モード共通の設定です。)
注3. 1点スイッチ仕様の場合は、SW1のみとなります。スイッチ動作モードでは、“S-1, 3” “C-5, 7”の順に表示します。